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微梁谐振器中的空气阻尼 期刊论文
北京科技大学学报, 2007, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 841-844
Authors:  冯闯;  赵亚溥;  刘冬青
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微谐振梁  空气阻尼  谐振频率  品质因子  
微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
Authors:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
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微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率