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亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定Coatings 期刊论文
力学学报, 2003, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 498-501
Authors:  张泰华;  郇勇;  王秀兰
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纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7/8, 页码: 212-214
Authors:  张泰华
Adobe PDF(111Kb)  |  Favorite  |  View/Download：802/375  |  Submit date：2007/06/15
氮化钛沉积膜的摩擦性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370
Authors:  张泰华;  郇勇;  杨业敏
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氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能