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感应耦合射频等离子体(英) 期刊论文
工业加热, 1986, 期号: 4, 页码: 53-56
作者:  朱清文
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感应耦合  射频等离子体  等离子炬  感应等离子体  耦合效率  维持功率  光谱化学  趋肤深度  大气压状态  
强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究 期刊论文
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：495/113  |  提交时间：2009/08/03
Si片  椭圆偏振光  强激光  辐照时间  激光退火  集成电路  样片  激光辐照  离子注入