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电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 会议论文
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
Authors:  李帅辉;  樊菁;  舒勇华
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电子束物理气相沉积（ebpvd）  非平衡蒸气粒子输运模型  自由分子流假设失效判据  金属蒸气粒子vhs  模型参数  直接模拟monte  Carlo（dsmc）方法  大面积均匀薄膜制备工艺  
电子束物理气相沉积钇钛合金薄膜的组分和厚度分布 期刊论文
中国科学. E辑, 技术科学, 2008, 卷号: 38, 期号: 7, 页码: 1105-1117
Authors:  李帅辉;  舒勇华;  樊菁
Adobe PDF(665Kb)  |  Favorite  |  View/Download：816/194  |  Submit date：2010/05/03
电子束物理气相沉积  薄膜  厚度和组分分布  蒸气原子  非平衡输运