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电子束物理气相沉积钇钛合金薄膜的组分和厚度分布 期刊论文
中国科学. E辑, 技术科学, 2008, 卷号: 38, 期号: 7, 页码: 1105-1117
作者:  李帅辉;  舒勇华;  樊菁
Adobe PDF(665Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：801/190  |  提交时间：2010/05/03
电子束物理气相沉积  薄膜  厚度和组分分布  蒸气原子  非平衡输运