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真空辐射加热基片的温度分布 期刊论文
力学与实践, 2006, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 19-23
Authors:  李帅辉;  舒勇华;  唐锦荣;  樊菁
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薄膜气相沉积  真空辐射加热  基片温度分布  
我国等离子体工艺研究进展 期刊论文
物理, 1999, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 388
Authors:  吴承康
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等离子体工艺  热等离子体  非平衡等离子体