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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文
电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16
作者:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民;  高孝裕;  周志敏;  张泰华
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材料测量与分析技术  镍膜微桥  Mems技术  弹性模量  残余应力