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In-plane Load Measuring Technique for the Strength Test of MEMS Micro-cantilever 期刊论文
Chinese Science Bulletin, 2006, 卷号: 51, 期号: 23, 页码: 2819-2823
作者:  Huan Y(郇勇);  Zhang TH(张泰华);  Yang YM(杨业敏);  Huan, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100080, Peoples R China.
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