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一种类金刚石薄膜的制备方法 专利
发明专利. 一种类金刚石薄膜的制备方法, 专利号: ZL202010317118.2, 申请日期: 2021-04-21, 授权日期: 2021-01-05
发明人:  夏原;  许亿;  李光
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