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纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
作者:  张海霞;  张泰华;  郇勇
Adobe PDF(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1272/401  |  提交时间：2010/05/03
纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd  
大流量压阻式流量传感器的研制 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 449-451
作者:  王小保;  钱劲;  张大成
Adobe PDF(189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：422/118  |  提交时间：2010/05/03
差压  流量传感器  微机械加工  压敏电阻  
纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7/8, 页码: 212-214
作者:  张泰华
Adobe PDF(111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：772/368  |  提交时间：2007/06/15