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4H-SiC贯穿型位错及其密度分布的表征方法优化 期刊论文
半导体技术, 2023, 卷号: 48, 期号: 11, 页码: 977-984
作者:  章宇;  陈诺夫;  张芳;  余雯静;  胡文瑞;  陈吉堃
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SiC  湿法腐蚀  贯穿型位错  位错密度  位错缺陷分布