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Residual Stress And Deformation Analysis Of Anodic Bonded Multi-Layer Of Glass And Aluminum 期刊论文
International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, 2008, 页码: 347-353
作者:  Liu CR;  Lu XY;  Yang ZY(杨振宇);  Meng QS;  Meng, QS (reprint author), Taiyuan Univ Technol, China Educ Minist & Shanxi Provence, Key Lab Adv Mat & Interface Sci, Taiyuan 030024, Peoples R China.
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Anodic Bonding  Mems  Aluminum  Glass  Residual Stress  Finite Element