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强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究 期刊论文
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：490/112  |  提交时间：2009/08/03
Si片  椭圆偏振光  强激光  辐照时间  激光退火  集成电路  样片  激光辐照  离子注入  
强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质 期刊论文
光学学报, 1982, 卷号: 2, 期号: 3, 页码: 285-288
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/141  |  提交时间：2009/08/03
离子注入  光学性质  激光退火  Co_2激光  注入层  激光辐照  椭圆偏振光  样片  反射率