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Snap-through and pull-in instabilities of an arch-shaped beam under an electrostatic loading 期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems, 2007, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 684-693
作者:  Zhang Y(张吟);  Wang YS;  Li ZH;  Huang YB;  Li DC;  Zhang, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100080, Peoples R China.
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Actuators  Beams  Electrostatic Analysis  Modeling  Micromachined Beams  Shallow Arches  Bistable Mems  Microactuator  Parameters  Actuators  Stability  Model