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纳米硬度计及其在微机电系统中的应用 期刊论文
现代科学仪器, 2002, 期号: 1, 页码: 32-37
作者:  张泰华;  杨业敏
Adobe PDF(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：635/200  |  提交时间：2010/05/03
微机电系统  纳米压痕  纳米划痕