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Influence of van der Waals and Casimir Forces on Electrostatic Torsional Actuators 期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems, 2004, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1027-1035
作者:  Guo JG(郭建刚);  Zhao YP(赵亚溥);  Guo, JG (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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