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A Breakdown Criterion of Free Molecular Flows and an Optimum Analysis of EBPVD 会议论文
26th International Symposium on Rarefied Gas Dynmaics (RGD26), Kyoto, JAPAN, JUN 20-JUL 25, 2008
作者:  Li SH(李帅辉);  Fan J(樊菁);  Shu YH(舒勇华);  Li SH
Adobe PDF(690Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：990/146  |  提交时间：2009/07/23
Free Molecular Assumption  Breakdown Criterion  Optimization  Thin Film  Ebpvd  Physical Vapor-deposition  Yttrium