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Plasma characteristics and dynamics in a high power pulsed magnetron sputtering discharge 期刊论文
中国科学院大学学报, 2015, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 145-154
作者:  Xia Y(夏原);  Gao FY(高方圆);  Li G(李光)
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Hipims  Hppms  等离子体动力学  放电特性  高离化率  
高气压快放电XeCl准分子激光器的放电特性 期刊论文
物理学报, 1984, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 1512-1519
作者:  刘达伟
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快放电  Xecl准分子激光器  平均阻抗  放电等离子体  高气压  放电特性  充电电压  毫微秒  沉积能量  
高频感应放电的理论分析 期刊论文
力学学报, 1981, 期号: 2, 页码: 165-172
作者:  陈允明
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高频感应  理论分析  放电曲线  放电特性曲线  阻抗匹配  输出特性曲线  高频振荡器  工作点  趋肤效应  
高频感应放电理论与特性计算方法 期刊论文
力学进展, 1981, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 323-337
作者:  朱清文
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放电区  等离子体特性  放电管  高频感应  放电特性  特性计算  等离子体放电  感应线圈  兆周