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Deflections and curvatures of a film-substrate structure with the presence of gradient stress in MEMS applications 期刊论文
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 753-762
作者:  Zhang Y(张吟);  Zhang, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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Thin-films  Micromachined Beams  Residual-stress  Cantilever Beam  Stoney Formula  Surface Stress  Strain  Bilayer  Systems  Model