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| 压阻式高量程微加速度计的冲击校准 | |
| 其他题名 | Shock calibration of piezoresistive high-g_n microaccelerometer |
郇勇 ; 张泰华; 杨业敏; 王钻开; 陆德仁
| |
| 发表期刊 | 传感器技术
 |
| 2003 | |
| 卷号 | 22期号:11页码:78-80 |
| ISSN | 1000-9787 |
| 摘要 | 采用体硅微机械加工技术和扩散技术，制作压阻式高量程微加速度计，设计量程为50000 g_n。芯片材料为单晶硅，采用双列扁平陶瓷封装。为了测量其动态灵敏度，使用Hopkinson杆在约40000 g_n的加速度水平下进行了冲击校准。在电桥电压为6.33V的情况下，被测微加速度计的灵敏度为1.26 μV/g_n。 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微加速度计 Hopkinson杆 校准 |
| 学科领域 | 力学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1176396 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16172 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郇勇,张泰华,杨业敏,等. 压阻式高量程微加速度计的冲击校准[J]. 传感器技术,2003,22,11,:78-80. |
| APA | 郇勇,张泰华,杨业敏,王钻开,&陆德仁.(2003).压阻式高量程微加速度计的冲击校准.传感器技术,22(11),78-80. |
| MLA | 郇勇,et al."压阻式高量程微加速度计的冲击校准".传感器技术 22.11(2003):78-80. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 压阻式高量程微加速度计的冲击校准.pdf（164KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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