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| 一种水冷空腔电弧阴极 | |
| 王殿儒; 曹尔研; 张福; 田大准 | |
| 发表期刊 | 电子与信息学报
 |
| 1983 | |
| 卷号 | 5期号:6页码:407-408 |
| ISSN | 1009-5896 |
| 摘要 | <正> 大电流电子源是高功率氩离子激光器、离子镀膜装置、真空冶炼设备等的关键部件。目前多数是采用热阴极,现在介绍一种水冷杯状空腔电弧阴极。 设计空腔电弧阴极主要考虑:散热、绝缘、防止烧蚀、消除污染、限制弧斑运动、稳定电弧、启动电弧等因素。 本文设计的阴极如图1所示。图中1是水冷杯状金属空腔,其内壁面是阴极的发射面。在阴极出口孔内,装有自加热衬套2,用它来把阴极斑约束在空腔内。3是绝缘垫。 |
| 关键词 | 电弧阴极 金属空腔 衬套材料 热阴极 离子镀膜机 自加热 真空冶炼 弧斑运动 工作腔 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/37876 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 王殿儒 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王殿儒,曹尔研,张福,等. 一种水冷空腔电弧阴极[J]. 电子与信息学报,1983,5,6,:407-408. |
| APA | 王殿儒,曹尔研,张福,&田大准.(1983).一种水冷空腔电弧阴极.电子与信息学报,5(6),407-408. |
| MLA | 王殿儒,et al."一种水冷空腔电弧阴极".电子与信息学报 5.6(1983):407-408. |
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