Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
MEMS材料力学性能的测试技术 | |
其他题名 | Measurement of mechanical properties of MEMS materials |
张泰华; 杨业敏; 赵亚溥; 白以龙 | |
发表期刊 | 力学进展 |
2002-11-25 | |
卷号 | 32期号:4页码:545-562 |
摘要 | 微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展,首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果。测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属。实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等。最后,简要分析了未来的发展需求。 |
关键词 | 微电子机械系统 力学性能 纳米压痕/划痕 弯曲 拉伸 扭转 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:1013611 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40062 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
通讯作者 | 张泰华 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张泰华,杨业敏,赵亚溥,等. MEMS材料力学性能的测试技术[J]. 力学进展,2002,32,4,:545-562. |
APA | 张泰华,杨业敏,赵亚溥,&白以龙.(2002).MEMS材料力学性能的测试技术.力学进展,32(4),545-562. |
MLA | 张泰华,et al."MEMS材料力学性能的测试技术".力学进展 32.4(2002):545-562. |
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