Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
| 一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析 | |
崔海航 ; 李战华; 靳刚
| |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 2004-09-30 | |
| 期号 | 3页码:70-75 |
| 摘要 | 通过厚胶光刻工艺在硅片上制备SU 8胶模板,利用该模板制备了高分子聚合物PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微流道和薄膜结构。通过对不同结构的两层PDMS的不可逆粘接得到一种简单的阀结构,在外加气源压力作用下薄膜产生变形实现对微流道的控制。实验测量了微阀的控制气源压力与被控制液体流量之间的关系,说明膜阀的开闭性能良好。根据弹性薄膜的变形理论,对影响微阀性能的参数进行了分析,并提出了几种可行的用于薄膜微阀控制的方法。 |
| 关键词 | 微流控 微阀 Pdms |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41334 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 崔海航 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔海航,李战华,靳刚. 一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析[J]. 微细加工技术,2004,3,:70-75. |
| APA | 崔海航,李战华,&靳刚.(2004).一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析.微细加工技术(3),70-75. |
| MLA | 崔海航,et al."一种PDMS薄膜型微阀的制备与性能分析".微细加工技术 .3(2004):70-75. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 671.pdf（135KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| Lanfanshu学术 |
| Lanfanshu学术中相似的文章 |
| [崔海航]的文章 |
| [李战华]的文章 |
| [靳刚]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [崔海航]的文章 |
| [李战华]的文章 |
| [靳刚]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [崔海航]的文章 |
| [李战华]的文章 |
| [靳刚]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论