IMECH-IR  > 高温气体动力学国家重点实验室
电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型
李帅辉; 樊菁; 舒勇华
Source Publication高温气体动力学研究进展
2011
Pages395-400
Conference NameLHD2011夏季学术研讨会
Conference Date2011
Conference Place内蒙赤峰
Abstract电子束物理气相沉积(EBPVD)是现代功能薄膜制备的重要方法之一,本文对EBPVD 中蒸气粒子的非平衡输运模型研究进展进行了综述。首先,对工程中广泛应用的自由分子流假设的适用范围进行了分析,指出了自由分子流假设失效的判别准则。当蒸发速率增大,自由分子流假设不再成立时,目前最有力的跨流域分析工具是直接模拟Monte Carlo(DSMC)方法,因此第二个关键问题是如何确定金属蒸气粒子的碰撞参数。再者,完成了多源蒸发大面积钇钛薄膜中三维低密度非平衡射流的DSMC 模拟,及薄膜检测结果和多种测量数据的对比。最后,针对多源EBPVD,给出了一个可以制备大面积多组分均匀薄膜的优化方案。
Keyword电子束物理气相沉积(ebpvd) 非平衡蒸气粒子输运模型 自由分子流假设失效判据 金属蒸气粒子vhs 模型参数 直接模拟monte Carlo(dsmc)方法 大面积均匀薄膜制备工艺
DepartmentLHD微尺度和非平衡流动
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/47966
Collection高温气体动力学国家重点实验室
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GB/T 7714
李帅辉,樊菁,舒勇华. 电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型[C],2011:395-400.
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