| 电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 | |
李帅辉 ; 樊菁; 舒勇华
| |
| 会议录名称 | 高温气体动力学研究进展 |
| 2011 | |
| 页码 | 395-400 |
| 会议名称 | LHD2011夏季学术研讨会 |
| 会议日期 | 2011 |
| 会议地点 | 内蒙赤峰 |
| 摘要 | 电子束物理气相沉积（EBPVD）是现代功能薄膜制备的重要方法之一，本文对EBPVD 中蒸气粒子的非平衡输运模型研究进展进行了综述。首先，对工程中广泛应用的自由分子流假设的适用范围进行了分析，指出了自由分子流假设失效的判别准则。当蒸发速率增大，自由分子流假设不再成立时，目前最有力的跨流域分析工具是直接模拟Monte Carlo（DSMC）方法，因此第二个关键问题是如何确定金属蒸气粒子的碰撞参数。再者，完成了多源蒸发大面积钇钛薄膜中三维低密度非平衡射流的DSMC 模拟，及薄膜检测结果和多种测量数据的对比。最后，针对多源EBPVD，给出了一个可以制备大面积多组分均匀薄膜的优化方案。 |
| 关键词 | 电子束物理气相沉积（ebpvd） 非平衡蒸气粒子输运模型 自由分子流假设失效判据 金属蒸气粒子vhs 模型参数 直接模拟monte Carlo（dsmc）方法 大面积均匀薄膜制备工艺 |
| 课题组名称 | LHD微尺度和非平衡流动 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/47966 |
| 专题 | 高温气体动力学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李帅辉,樊菁,舒勇华. 电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型[C]高温气体动力学研究进展,2011:395-400. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| LhdCA2011-395.pdf（888KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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