沉积温度对电子束物理气相沉积制备YBCO薄膜性能与结构的影响

	沉积温度对电子束物理气相沉积制备YBCO薄膜性能与结构的影响
	王连红; 刘崇; 樊菁; 舒勇华; 李帅辉; 张俊; 马月芬
会议录名称	中国力学大会——2013论文摘要集
	2013
会议名称	中国力学大会——2013
会议日期	2013-08-19
会议地点	中国北京
摘要	采用力学研究所自主研制的多元电子束物理气相沉积系统两步法生长YBCO薄膜。所用衬底为{001}LaAlO_3(简称LAO)单晶,尺寸为15mm×15mm,厚度为0.5mm。蒸发源选用Y,BaF_2和Cu,其纯度均高于99%。电子束蒸镀时衬底温度分别为室温、300℃和600℃。研究了不同沉积温度对YBCO薄膜结构、表面形貌及超导性能的影响。X射线衍射(XRD)和扫描电镜
关键词	Ybco 沉积温度薄膜结构性能与结构超导性能衬底温度织构表面形貌蒸发源电子束蒸镀 Xrd 自主研制室温单晶两步法力学研究射线衍射致密的尺寸纯度
课题组名称	LHD微尺度和非平衡流动
语种	中文
文献类型	会议论文
条目标识符	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48571
专题	高温气体动力学国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	王连红,刘崇,樊菁,等. 沉积温度对电子束物理气相沉积制备YBCO薄膜性能与结构的影响[C]中国力学大会——2013论文摘要集,2013.