| 一种等臂长外差式激光干涉测距系统 |
| 李玉琼 ; 靳刚; 罗子人; 刘河山; 董玉辉
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| 2016-04-13
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| 专利权人 | 中国科学院力学研究所
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| 摘要 | 本发明提供了一种等臂长外差式激光干涉测距系统，至少包括：隔振系统，用于将外界的低频率噪声进行隔离与过滤，消除系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测，对相位信息进行采集，并反演位移，反映干涉系统在各个频段上的测距精度。本发明可消除激光器频率不稳定性、各类噪声源对测距精度的影响，实现了长周期皮米量级的测量精度。 |
| 申请日期 | 2013-06-09
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| 授权日期 | 2016-04-13
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| 专利号 | ZL201310231028.1
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| 语种 | 中文
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| 授权国家 | 中国
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/58730
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| 专题 | 微重力重点实验室
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
李玉琼,靳刚,罗子人,等. 一种等臂长外差式激光干涉测距系统. ZL201310231028.1[P]. 2016-04-13.
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文件名：
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CN103307985B.pdf
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格式：
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Adobe PDF
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