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微尺度位移、形貌测量系统及应用 期刊论文
实验力学, 2007, 卷号: 22, 期号: 3/4, 页码: 424-428
Authors:  缪泓;  张泰华;  郇勇;  伍小平
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微尺度测量  数字散斑相关  投影条纹  相移  Mems  
纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
Authors:  张海霞;  张泰华;  郇勇
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纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd  
基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2003, 卷号: 16, 期号: 4, 页码: 23-26
Authors:  张泰华;  刘东旭;  郇勇;  王秀兰
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