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微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  阮勇;  张大成
Adobe PDF(190Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1099/388  |  提交时间：2007/06/15
微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  
微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
作者:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
Adobe PDF(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：822/232  |  提交时间：2010/05/03
微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
微加速度计在冲击载荷作用下的失效分析 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 516
作者:  王立森;  胡宇群;  李志宏;  余同希;  赵亚溥
Adobe PDF(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：594/174  |  提交时间：2010/05/03
微加速度计  体硅加工工艺  冲击载荷  失效分析  粘附  
Failure Analysis of Micro accelerometer under Impact Loading 期刊论文
机械强度, 2001, 期号: 4, 页码: 516-522
作者:  Wang LS(王立森);  Hu YQ(胡宇群);  Li ZH(李志宏)
Adobe PDF(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1054/287  |  提交时间：2007/06/15
Residual Stresses in Micro-Electro-Mechanical Systems 期刊论文
机械强度, 2001, 期号: 4, 页码: 393-401
作者:  Qian J(钱劲);  Liu C(刘澄);  Zhang DC(张大成)
Adobe PDF(612Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：804/337  |  提交时间：2007/06/15