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表面粗糙度对化学机械抛光工艺过程流动性能的影响 期刊论文
润滑与密封, 2009, 期号: 8, 页码: 33-38+52
作者:  魏红波;  谭援强;  高太元;  李明军
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化学机械抛光  润滑方程  粗糙表面  分形  
A Breakdown Criterion of Free Molecular Flows and an Optimum Analysis of EBPVD 会议论文
26th International Symposium on Rarefied Gas Dynmaics (RGD26), Kyoto, JAPAN, JUN 20-JUL 25, 2008
作者:  Li SH(李帅辉);  Fan J(樊菁);  Shu YH(舒勇华);  Li SH
Adobe PDF(690Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：991/147  |  提交时间：2009/07/23
Free Molecular Assumption  Breakdown Criterion  Optimization  Thin Film  Ebpvd  Physical Vapor-deposition  Yttrium