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一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法 专利
发明专利. 一种室温溅射制备晶态透明氧化铝薄膜的方法, 专利号: ZL202010227914.7, 申请日期: 2020-03-27, 授权日期: 2021-12-24
发明人:  夏原;  高方圆;  李光
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沉积温度对电子束物理气相沉积制备YBCO薄膜性能与结构的影响 会议论文
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:  王连红;  刘崇;  樊菁;  舒勇华;  李帅辉;  张俊;  马月芬
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Ybco  沉积温度  薄膜结构  性能与结构  超导性能  衬底温度  织构  表面形貌  蒸发源  电子束蒸镀  Xrd  自主研制  室温  单晶  两步法  力学研究  射线衍射  致密的  尺寸  纯度  
真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究 期刊论文
宇航材料工艺, 2002, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 52-54
作者:  王秀兰;  刘文言;  刘洪源;  张泰华
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真空磁过滤电弧离子镀  类金刚石  耐磨性  涂层  制备  薄膜  
电弧离子镀中脉冲偏压对TiN,CrN薄膜性能的影响 学位论文
硕士论文，北京: 中国科学院研究生院, 1999
作者:  李正阳
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脉冲  离子镀  薄膜  Pulse  Arc Deposition  Coating