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HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控 期刊论文
中国表面工程, 2022, 页码: 8
作者:  高方圆;  许亿;  李国栋;  李光;  夏原
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HiPIMS  氧化铝薄膜  室温  晶化诱导  能量调控  
磁控溅射阴极靶磁场分布的定量评价 期刊论文
材料热处理学报, 2010, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 153-157
作者:  高方圆;  李光;  夏原
Adobe PDF(332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：962/239  |  提交时间：2010/05/03
磁控溅射  磁场分布  结构参数  平行率