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Effect of ion-beam assisted deposition on the film stresses of TiO2 and SiO2 and stress control 期刊论文
ACTA MECHANICA SINICA, 2012, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 1382-1388
作者:  Li YQ(李玉琼);  Wang HQ;  Wang WY;  Yu ZN;  Liu HS(刘河山);  Jin G(靳刚);  Jin, G
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Film Stress  Stress Controlling  Ion-beam Assisted Deposition  Hartmann-shack Sensor  Thin-films  Residual-stress  
基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 02, 页码: 602-608
作者:  李玉琼
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薄膜光学  薄膜应力  哈特曼-夏克传感器  基片材料  沉积参数  离子辅助沉积