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Self-consistent kinetic modeling of low-pressure inductively coupled radio-frequency discharges 期刊论文
Journal of Applied Physics, 1996, 卷号: 80, 期号: 7, 页码: 3699-3704
作者:  Yang Y;  Wu HM(吴汉明)
Adobe PDF(283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：661/258  |  提交时间：2009/08/03
Electron-distribution Function  Rf Discharge  Glow-discharge  Plasma Sources