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硅对CO_2激光的增强吸收 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 28-29,25
作者:  李元恒;  李春金
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透射率  强吸收  Co_2激光  离子注入硅  反射率  激光退火  能量吸收  激光辐照  辐照区  
硅对强CO_2激光的雪崩吸收及其后果 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: Z1, 页码: 660
作者:  李元恒;  张玉峰
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激光辐照  红宝石激光  载流子  透射率  功率密度  电激活  反射率  费米统计  温升速率  
强CO_2激光辐照下离子注入Si反射率的动态干涉效应 期刊论文
中国激光, 1982, 卷号: 9, 期号: 8, 页码: 498-500,497
作者:  李元恒
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动态干涉  磷离子注入  反射率  非晶层  辐照  Co_2激光  非晶态  固相外延  Hene激光  
强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究 期刊论文
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：491/112  |  提交时间：2009/08/03
Si片  椭圆偏振光  强激光  辐照时间  激光退火  集成电路  样片  激光辐照  离子注入