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微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
作者:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Ni膜微桥  Meme技术  力学特性  
纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
作者:  张海霞;  张泰华;  郇勇
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纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd