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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 447-451
Authors:  何小元;  康新;  衡伟;  黄庆安
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微电子机械系统  微电子  光测力学  
微电子与微机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 447-451
Authors:  何小元;  康新;  衡伟;  黄庆安
Adobe PDF(226Kb)  |  Favorite  |  View/Download:314/89  |  Submit date:2007/06/15