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| 过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 | |
李成明; 张勇 ; 李桂英; 曹尔妍; 吕反修
| |
| 发表期刊 | 中国有色金属学报
 |
| 2003-02-20 | |
| 卷号 | 13期号:1页码:167-171 |
| 摘要 | 用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜 ,用扫描电镜 (SEM )观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌。使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析 ,用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量。结果表明 ,在调制周期大于 10 0nm时 ,多层膜的显微硬度符合Hall Petch关系 ,在 80nm时 ,则脱离线性关系。划痕法测试多层膜的结合力达到 80N。 |
| 关键词 | 显微硬度 结合力 多层膜 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41720 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 李成明 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李成明,张勇,李桂英,等. 过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜[J]. 中国有色金属学报,2003,13,1,:167-171. |
| APA | 李成明,张勇,李桂英,曹尔妍,&吕反修.(2003).过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜.中国有色金属学报,13(1),167-171. |
| MLA | 李成明,et al."过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜".中国有色金属学报 13.1(2003):167-171. |
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