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中国科学院力学研究所机构知识库
Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
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张泰华 [8]
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作者:杨业敏
第一作者
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A moving-coil designed micro-mechanics tester with application on MEMS
期刊论文
Measurement Science & Technology, 2007, 卷号: 18, 期号: 11, 页码: 3612-3616
作者:
Huan Y(郇勇)
;
Zhang TH(张泰华)
;
Yang YM(杨业敏)
;
Zhang, TH (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
Adobe PDF(557Kb)
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浏览/下载:726/174
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提交时间:2009/08/03
Micro-mechanics
Tester
Design
Mems
Thin-films
Mechanical-properties
Nanoindentation Technique
In-plane Load Measuring Technique for the Strength Test of MEMS Micro-cantilever
期刊论文
Chinese Science Bulletin, 2006, 卷号: 51, 期号: 23, 页码: 2819-2823
作者:
Huan Y(郇勇)
;
Zhang TH(张泰华)
;
Yang YM(杨业敏)
;
Huan, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100080, Peoples R China.
Adobe PDF(738Kb)
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提交时间:2007/06/15
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用
期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
作者:
郇勇
;
张泰华
;
杨业敏
;
阮勇
;
张大成
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提交时间:2007/06/15
微电子机械系统
键合
微悬臂梁
强度
电磁式微加速度计冲击校准装置
专利
发明专利. 电磁式微加速度计冲击校准装置, 专利号: ZL02291092.1, 申请日期: 2002-12-26, 授权日期: 2012-12-28
发明人:
张泰华
;
郇勇
;
杨业敏
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浏览/下载:452/70
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提交时间:2012/12/28
Micro/Nanomechanical and Tribological Properties of thin Diamond-Like Carbon Coatings
期刊论文
Chinese Journal of Aeronautics, 2003, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 47-51
作者:
Zhang TH(张泰华)
;
Liu DX
;
Huan Y(郇勇)
;
Yang YM(杨业敏)
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浏览/下载:631/153
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提交时间:2007/06/15
Diamond-like Carbon s Microhardness
Nanoindentation
Nanoscratch
Solid Lubricating
压阻式高量程微加速度计的冲击校准
期刊论文
传感器技术, 2003, 卷号: 22, 期号: 11, 页码: 78-80
作者:
郇勇
;
张泰华
;
杨业敏
;
王钻开
;
陆德仁
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提交时间:2007/06/15
微电子机械系统
微加速度计
Hopkinson杆
校准
氮化钛沉积膜的摩擦性能研究
期刊论文
摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370
作者:
张泰华
;
郇勇
;
杨业敏
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浏览/下载:672/101
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提交时间:2007/06/15
氮化钛薄膜
显微硬度
纳米压痕
纳米划痕
摩擦性能
用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力
期刊论文
传感技术学报, 2003, 卷号: 16, 期号: 2, 页码: 128-131
作者:
郇勇
;
张泰华
;
杨业敏
;
曾昭君
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浏览/下载:747/216
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提交时间:2007/06/15
微加速度计
Hopkinson
杆
抗过载能力