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硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
作者:  张玉峰;  杜永昌;  李大军;  李元恒
Adobe PDF(237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/124  |  提交时间：2009/08/03
薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  Co_2激光  面密度