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纳米压痕仪的载荷精度研究 会议论文
中国力学学会学术大会'2009, 中国河南郑州, 2009-08-24
作者:  郇勇;  刘东旭;  杨荣;  张泰华
Adobe PDF(1274Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：931/106  |  提交时间：2010/11/25
纳米压痕仪  载荷  精度  测量  误差  
电磁式纳米压入仪的载荷精度研究 会议论文
第十二届全国实验力学学术会议, 中国内蒙古呼和浩特, 2009-07-25
作者:  郇勇;  刘东旭;  杨荣;  张泰华
Adobe PDF(180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：655/159  |  提交时间：2010/11/25
纳米压入仪  载荷  精度  测量  误差  
宏观深度测量压入仪器的研制 期刊论文
力学学报, 2007, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 350-355
作者:  刘东旭;  张泰华;  郇勇
Adobe PDF(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：603/114  |  提交时间：2010/05/03
硬度  弹性模量  宏观深度测量压入法  机架柔度  金属材料  
一种微力学测试仪的研制及其测试方法的研究 学位论文
博士论文，北京: 中国科学院研究生院, 2005
作者:  郇勇
Adobe PDF(4240Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：970/10  |  提交时间：2009/04/13
微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
作者:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  阮勇;  张大成
Adobe PDF(190Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1090/386  |  提交时间：2007/06/15
微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  
纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
作者:  张海霞;  张泰华;  郇勇
Adobe PDF(275Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1274/402  |  提交时间：2010/05/03
纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd  
基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2003, 卷号: 16, 期号: 4, 页码: 23-26
作者:  张泰华;  刘东旭;  郇勇;  王秀兰
Adobe PDF(232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：569/142  |  提交时间：2007/06/15