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微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27
作者:  周勇;  王明军;  杨春生;  陈吉安;  王莉;  丁桂甫;  张亚民;  高孝裕;  张泰华
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Ni膜微桥  Mems技术  力学性能  
微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2003, 期号: 4, 页码: 45-48
作者:  周勇;  杨春生;  陈吉安;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Cu膜微桥  Mems技术  力学性能  
纳米硬度计及其在微机电系统中的应用 期刊论文
现代科学仪器, 2002, 期号: 1, 页码: 32-37
作者:  张泰华;  杨业敏
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微机电系统  纳米压痕  纳米划痕  
光学蛋白质芯片技术及其应用 期刊论文
现代科学仪器, 2001, 期号: 3, 页码: 27-29
作者:  靳刚
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通过研制创新高科技装备培养高技术人才的体会与思考 期刊论文
现代科学仪器, 1998, 期号: 5, 页码: 73-74
作者:  方惠英
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高技术人才  知识创新工程  科技装备  装备研制  研制项目  科技工作者  生物传感器  仪器和设备  科学院  实验室