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| HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控 期刊论文
中国表面工程, 2022, 页码: 8
作者: 高方圆 ; 许亿; 李国栋; 李光; 夏原
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HiPIMS 氧化铝薄膜 室温 晶化诱导 能量调控 |
| 纳米薄膜生长界面演化的分子动力学模拟 学位论文
硕士论文，北京: 中国科学院大学, 2017
作者: 郑宜涛
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| 多电子束物理气相沉积系统 仪器设备
联系方式: 010-82544028, 建成日期: 2016
作者: 舒勇华
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| 多源气相共沉积界面原子吸附行为与机理研究 会议论文
第十三届全国物理力学学术会议, 中国湖南湘潭, 2014-10-17
作者: 刘崇; 王连红; 舒勇华; 樊菁
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薄膜制备 入射粒子 吸附系数 沉积薄膜 共沉积 影响因素 物理气相沉积 分比 动力学模拟 高温超导 |
| 电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型 会议论文
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者: 李帅辉; 樊菁; 舒勇华
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电子束物理气相沉积（ebpvd） 非平衡蒸气粒子输运模型 自由分子流假设失效判据 金属蒸气粒子vhs 模型参数 直接模拟monte Carlo（dsmc）方法 大面积均匀薄膜制备工艺 |
| 中频对靶反应磁控溅射Al_2O_3、TiO_2、ZrO_2功能薄膜的特性研究 期刊论文
新技术新工艺, 2008, 期号: 8, 页码: 101-104+4
作者: 贾军伟; 潘文霞; 黄河激
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功能薄膜 磁控溅射 薄膜电阻 |
