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微尺度位移、形貌测量系统及应用 期刊论文
实验力学, 2007, 卷号: 22, 期号: 3/4, 页码: 424-428
作者:  缪泓;  张泰华;  郇勇;  伍小平
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微尺度测量  数字散斑相关  投影条纹  相移  Mems  
薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究 期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 737-741
作者:  魏成;  李喜德;  黄静波;  施惠基;  张泰华
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薄膜  微区域变形  微压痕  标记法  微缺陷  
纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
作者:  张海霞;  张泰华;  郇勇
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纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd  
微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2003, 期号: 4, 页码: 45-48
作者:  周勇;  杨春生;  陈吉安;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Cu膜微桥  Mems技术  力学性能  
基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2003, 卷号: 16, 期号: 4, 页码: 23-26
作者:  张泰华;  刘东旭;  郇勇;  王秀兰
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微型材料的拉伸测试方法研究 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 430
作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  余同希;  孙庆平
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微电子机械系统  微型材料  拉伸