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电磁式微加速度计冲击校准装置 专利
发明专利. 电磁式微加速度计冲击校准装置, 专利号: ZL02291092.1, 申请日期: 2002-12-26, 授权日期: 2012-12-28
发明人:  张泰华;  郇勇;  杨业敏
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Measurement of Young’s modulus and residual stress of copper filmelectroplated on silicon wafer 期刊论文
Thin Solid Films, 2004, 卷号: 460, 期号: 1, 页码: 175-180
作者:  Zhou Y;  Yang CS;  Chen JA;  Ding GF,;  Ding W;  Wang L;  Wang MJ;  Zhang YM;  张泰华
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Microbridge testing of Young's modulus and residual stress of nickel film electroplated on silicon wafer 期刊论文
Acta Metallurgica Sinica(English Letters), 2004, 卷号: 17, 期号: 3, 页码: 247-254
作者:  Zhou Y;  Yang CS;  Chen JA;  Ding GF;  Wang L;  Wang MJ;  Zhang YM;  Zhang TH(张泰华)
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Nickel Film Microbridge  Mems  Mechanical Property  Loadeflection Measurement