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硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
Authors:  张玉峰;  杜永昌;  李大军;  李元恒
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薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  Co_2激光  面密度  
硅对强CO_2激光的雪崩吸收及其后果 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: Z1, 页码: 660
Authors:  李元恒;  张玉峰
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激光辐照  红宝石激光  载流子  透射率  功率密度  电激活  反射率  费米统计  温升速率  
扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文
半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342
Authors:  李元恒;  张玉峰;  吴书祥;  杜永昌
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连续co_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度