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硅表层扩散杂质在CW-CO_2激光辐照后的电激活特性 期刊论文
北京大学学报(自然科学版), 1984, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 8-12
作者:  张玉峰;  杜永昌;  李大军;  李元恒
Adobe PDF(237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/123  |  提交时间：2009/08/03
薄层电阻  电激活  扩散杂质  扩硼  激光辐照  辐照后  固溶度极限  Co_2激光  面密度  
硅对CO_2激光的增强吸收 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: 1, 页码: 28-29,25
作者:  李元恒;  李春金
Adobe PDF(210Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/116  |  提交时间：2009/08/03
透射率  强吸收  Co_2激光  离子注入硅  反射率  激光退火  能量吸收  激光辐照  辐照区  
硅对强CO_2激光的雪崩吸收及其后果 期刊论文
中国激光, 1983, 卷号: 10, 期号: Z1, 页码: 660
作者:  李元恒;  张玉峰
Adobe PDF(67Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/108  |  提交时间：2009/08/03
激光辐照  红宝石激光  载流子  透射率  功率密度  电激活  反射率  费米统计  温升速率  
CWCO_2激光辐照下硅的光吸收特性 期刊论文
光学学报, 1983, 卷号: 3, 期号: 6, 页码: 568-572
作者:  李元恒
Adobe PDF(236Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：456/116  |  提交时间：2009/08/03
光吸收特性  透射率t  Co_2激光  激光辐照  温升速率  自由载流子吸收  激光能量  空穴  热激发  
强激光辐照下集成电路Si片的椭圆偏振光研究 期刊论文
中国激光, 1982, 期号: 5, 页码: 82
作者:  李元恒;  王振明
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Si片  椭圆偏振光  强激光  辐照时间  激光退火  集成电路  样片  激光辐照  离子注入  
扩硼Si在连续CO_2激光辐照后的特性 期刊论文
半导体学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 340-342
作者:  李元恒;  张玉峰;  吴书祥;  杜永昌
Adobe PDF(199Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：530/127  |  提交时间：2009/08/03
连续co_2激光  激光辐照  薄层电阻  扩硼  激光功率密度  辐照后  激光扫描速度  电激活  面密度  
强CO_2激光退火时离子注入Si的光学性质 期刊论文
光学学报, 1982, 卷号: 2, 期号: 3, 页码: 285-288
作者:  李元恒;  王振明
Adobe PDF(255Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：574/141  |  提交时间：2009/08/03
离子注入  光学性质  激光退火  Co_2激光  注入层  激光辐照  椭圆偏振光  样片  反射率  
离子注入Si在连续CO_2激光退火时的动态反射特性 期刊论文
物理学报, 1981, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 542-544
作者:  李元恒
Adobe PDF(112Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/105  |  提交时间：2009/08/03
连续co_2激光  反射特性  离子注入  注入层  光反射率  表面载流子浓度  激光退火  激光辐照  激光器