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微尺度位移、形貌测量系统及应用 期刊论文
实验力学, 2007, 卷号: 22, 期号: 3/4, 页码: 424-428
Authors:  缪泓;  张泰华;  郇勇;  伍小平
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微尺度测量  数字散斑相关  投影条纹  相移  Mems  
A moving-coil designed micro-mechanics tester with application on MEMS 期刊论文
Measurement Science & Technology, 2007, 卷号: 18, 期号: 11, 页码: 3612-3616
Authors:  Huan Y(郇勇);  Zhang TH(张泰华);  Yang YM(杨业敏);  Zhang, TH (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech LNM, Beijing 100080, Peoples R China.
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Micro-mechanics  Tester  Design  Mems  Thin-films  Mechanical-properties  Nanoindentation Technique  
In-plane Load Measuring Technique for the Strength Test of MEMS Micro-cantilever 期刊论文
Chinese Science Bulletin, 2006, 卷号: 51, 期号: 23, 页码: 2819-2823
Authors:  Huan Y(郇勇);  Zhang TH(张泰华);  Yang YM(杨业敏);  Huan, Y (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Mech, State Key Lab Nonlinear Mech, Beijing 100080, Peoples R China.
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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文
电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16
Authors:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民;  高孝裕;  周志敏;  张泰华
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材料测量与分析技术  镍膜微桥  Mems技术  弹性模量  残余应力  
微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27
Authors:  周勇;  王明军;  杨春生;  陈吉安;  王莉;  丁桂甫;  张亚民;  高孝裕;  张泰华
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Ni膜微桥  Mems技术  力学性能  
Measurement of Young’s modulus and residual stress of copper filmelectroplated on silicon wafer 期刊论文
Thin Solid Films, 2004, 卷号: 460, 期号: 1, 页码: 175-180
Authors:  Zhou Y;  Yang CS;  Chen JA;  Ding GF,;  Ding W;  Wang L;  Wang MJ;  Zhang YM;  张泰华
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微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
Authors:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Ni膜微桥  Meme技术  力学特性  
微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2003, 期号: 4, 页码: 45-48
Authors:  周勇;  杨春生;  陈吉安;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Cu膜微桥  Mems技术  力学性能